一、大功率半导体材料生长与制备工艺创新 1，基于MOCVD技术的SiC外延层生长工艺优化与性能分析2，氮化镓（GaN）高质量外延材料生长参数调控与实验研究3，面向功率器件的碳化硅单晶生长缺陷控制技术与案例分析4，大尺寸硅基外延材料掺杂工艺对...
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